Die Reinheit eines Reinraumzelts wird durch die Filterklasse und die Strömungsform bestimmt. Durch den Einsatz von HEPA H14 Filtern und laminarer Strömung erreicht das System im direkten Prozessbereich (First Air) verlässlich die ISO Klasse 5 nach DIN EN ISO 14644-1, während ein permanenter Überdruck das Eindringen externer Kontamination verhindert.
Die Reinheitsleistung eines Nordair Reinraumzelts wird physikalisch durch den Abscheidegrad der Filtermedien definiert. Wir verbauen standardmäßig HEPA H14 Filter (High Efficiency Particulate Air) gemäß DIN EN 1822. Diese Filter haben einen Abscheidegrad von 99,995 % bei der MPPS (Most Penetrating Particle Size, ca. 0,1–0,3 µm). Das bedeutet: Von 100.000 Partikeln durchbricht statistisch weniger als ein einziger den Filter. Dies ist die technische Basis für Anwendungen in der Halbleiterfertigung oder Optikmontage. Mehr zum H14 Filter können Sie hier lesen.
Reinheit ist nicht statisch, sondern ein dynamisches Gleichgewicht aus Partikelgenerierung und Abtransport. Die Filter Fan Units (FFUs) erzeugen einen vertikalen Luftstrom mit einer Geschwindigkeit von ca. 0,45 m/s (±20 %). Dieser sogenannte Laminar Flow wirkt wie ein steriler Kolben, der Partikel auf direktem Weg nach unten aus dem Arbeitsbereich verdrängt (Wash-Down-Effekt), bevor sie sich auf empfindlichen Oberflächen absetzen können. Turbulente Mischlüftungen, wie sie in herkömmlichen Klimaanlagen vorkommen, wirbeln Partikel lediglich auf, anstatt sie zu entfernen.
Ein Reinraumzelt gewährleistet im direkten Abstrombereich der Filter (First Air) die ISO Klasse 5. Dies entspricht maximal 3.520 Partikeln (≥ 0,5 µm) pro Kubikmeter Luft. In den Randbereichen oder bei reduzierter Filterbelegung (z. B. nur jeder zweite Rasterplatz belegt) stellt sich im Gesamtraum typischerweise eine Mischreinheit von ISO 7 oder ISO 8 ein, während der kritische Prozesskern unter dem Filter ultrarein bleibt (Clean Zone Konzept).
Reinraumzelt
